基本情况

田业冰，1979年出生，籍贯山东省泗水县。2007年于大连理工大学机械制造及其自动化专业获博士学位。2007年至2010年，于日本国立茨城大学从事博士后研究工作。现任新加坡制造技术研究院研究员（Research Scientist）。作为课题负责人和主要承担者，主持完成了难加工材料高效精密磨削与光整加工技术及工艺设备方面的10余项研究项目，申请国际发明专利1项，授权国家发明专利2项，发表学术论文40余篇。兼任国际纳米制造学会会员，日本精密工学会正会员，国际期刊《Mechanical Engineering Research》编委，10余种国际期刊与国际会议的审稿专家。

 

研究领域

难加工材料高效精密加工技术、表面光整加工技术与工艺设备、精密测量与表征技术

 

荣誉奖励

2014年 浙江省“钱江学者”特聘教授入选者

2010年 百篇优秀博士论文提名奖获得者

2009年 辽宁省优秀博士论文获得者

 

论文发表

1. Y.B. Tian, Z.W. Zhong and J.H. Ng, Effects of chemical slurries on fixed abrasive chemical mechanical polishing of optical silicon substrates, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 14(8) 1147, (2013)
2. Y.B. Tian, Z.W. Zhong, S.T. Lai , Y.J. Ang, Development of fixed abrasive chemical mechanical polishing process for glass disk substrates, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 68(5-8),993, (2013)
3. L. Zhou, Y.B. Tian, H. Huang, H. Sato, J. Shimizu, A study on the diamond grinding of ultra-thin silicon wafers, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part B: Journal of Engineering Manufacture, 226, 66(2012)
4. Y.B. Tian, L. Zhou, Z.W. Zhong, H. Sato, J. Shimizu, Finite element analysis of deflection and residual stress on machined ultra-thin silicon wafers, Semiconductor Science and Technology, 26, 105002 (2011)
5. Y.B. Tian, L. Zhou, J. Shimizu, Y. Tashiro, R.K. Kang, Elimination of surface scratch / texture on the surface of single crystal Si substrate in chemo-mechanical grinding (CMG) process, Applied Surface Science, 255, 4205 (2009)